二手 SATISLOH Auto-Flex #9247434 待售

SATISLOH Auto-Flex是一种多功能晶片研磨、研磨和抛光设备，具有处理不同大小和形状晶片的灵活性。该单元设计用于研磨扁平晶片、形状晶片和轮廓晶片,每次运行可处理单个晶片和多个晶片。Auto-Flex能够满足半导体行业的高表面质量需求。SATISLOH Auto-Flex系统使用刚性和定向磨削模组来处理各种晶圆形状和尺寸。该单元配备了易于使用的HMI，具有直接的用户界面和一触式选择，用于不同的研磨和抛光操作。它具有用于主轴和旋转台的双驱动器，以确保对研磨和抛光参数的精确控制。该机具有多个研磨段的高性能研磨头，提供最佳研磨研磨性能。磨头采用变速控制，提高了生产效率，提高了工艺参数的灵活性。此外,Auto-Flex还拥有先进的边缘轮廓控制机和可选的数字图像识别工具,为边缘厚度和轮廓控制提供了卓越的准确性和可重复性。资产与抛光机器人进一步集成，以确保一致、可重复的结果。机器人配备了先进的晶圆处理模型，以确保从研磨到抛光站的快速、准确、安全的晶圆转移。SATISLOH Auto-Flex还配备了几个安全功能，包括操作员保护的安全屏障、监测研磨压力的压力传感器以及保护晶圆的过温保护。Auto-Flex是一款极具效率的设备，可以满足半导体工业中晶圆研磨、研磨和抛光最苛刻的要求。它的多功能性、准确性和可重复性使其成为生产高精度半导体产品必不可少的工具。