二手 SATISLOH Auto-Flex #9402192 待售

SATISLOH Auto-Flex是一种超精密研磨、研磨、抛光薄晶圆的先进系统。它是一个由高精度和用户友好的软件和硬件组件组成的自动化晶圆处理平台,旨在实现卓越的性能和可靠性。特别是专为精密应用的高级过程控制而设计。Auto-Flex的主要特点是Smart Lap，这是一款集成了智能先进工艺控制的晶圆研磨机。它提供了晶片和研磨板之间接触力的精确控制，允许重复和一致的结果。此外,Smart Lap还提供手动或自动化晶片清洗和晶片加载,以及过程监控功能。此外，该系统还提供了一系列研磨能力。它提供精确的工艺控制和完整的研磨工艺范围，包括粗磨、全面或选择性研磨以及抛光。采用高精度磨盘和陶瓷，达到所需的表面光洁度和精度。通过使用视觉站，实时监测研磨和抛光结果，提供工艺和表面质量控制。硬件、软件和过程控制的结合，确保晶片可以被处理和完成，得到极其精确、统一和可重复的结果。可以使用各种功能和选项来满足特定应用程序的要求。其中包括多种主轴配置、机器人加载、自动化过程控制以及针对所需过程优化系统的自定义软件。SATISLOH Auto-Flex提供了晶圆研磨、研磨、抛光的综合解决方桉，具有卓越的性能、可靠性和可重复性。它与先进的过程控制、过程监控等功能相集成,是超精度和高质量生产的绝佳选择。