二手 SATISLOH Duo-Flex #293817659 待售
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SATISLOH Duo-Flex是一款下一代晶圆研磨、研磨和抛光设备,由半导体工业领先制造商之一开发,位于德国。该系统是一台先进的双端研磨研磨机,采用灵活的技术实现高精度抛光,并在各种级别上进行研磨、研磨和抛光。Duo-Flex设计用于处理一系列晶圆,直径从3.2英寸到6英寸不等。该单元可以处理广泛的晶片,包括SOI、SiC、蓝宝石,甚至MEMS晶片。与前代产品相比,SATISLOH Duo-Flex具有更高的旋转速度和最大的推力,使其能够以更快的速度进行精密研磨和抛光,并具有更好的质量输出。此外,这台机器还可用于干湿抛光,具体取决于晶圆类型。此外,Duo-Flex还配备了新的驱动技术,最大限度地提高了工艺的重复性,进一步提高了研磨和抛光工艺的精度。该工具还应用合金磨料轮的性质在研磨过程中实现更精细的完成。从研磨到抛光的整个过程是在无尘环境中进行的,与其他系统相比,观察到最小的刀具磨损和载荷。Dual Flex提供了一种用于预磨和粗加工操作C3H主轴。主轴夹紧研磨和研磨圆盘与一个专利夹紧结构的安全和精确研磨。资产还包括一个研磨敷料站,有助于保持一个一致的研磨过程。最后,SATISLOH Duo-Flex拥有一个集成的PLC模型,允许用户在机器运行的同时轻松设置和修改参数。该设备还提供了一些附加功能,如工具提取、数据收集和分析。总体而言,Duo-Flex是目前市场上最好的晶圆研磨和抛光系统之一。该系统的先进功能和技术为半导体行业的各种制造需求提供了可靠、准确和经济高效的解决方桉。
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