二手 SATISLOH Duo-Flex #9394939 待售

SATISLOH Duo-Flex是来自SATISLOH的最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统利用了双主轴设计和两个独立的研磨机，使其能够同时在多个晶片上工作。这是通过在不同方向上旋转晶片并调整速度来完成的，从而产生极其高效的晶片处理。首先，将晶片装入带有顶部和底部夹具的研磨室。研磨室会自动调整高度和宽度,以确保晶片的适当配合。然后使用一组校准滚筒来确定晶片在研磨室内的正确方向,确保均匀研磨的均匀压力。然后，该工艺利用几种独特的技术来确保精密和有效的研磨。其中第一种是Duo-Flex工艺，它结合了两个反向旋转的磨削表面，能够以极高的精度同时研磨和抛光。获得专利的"Isopolar"研磨工艺进一步提高了晶片质量，利用两个独立的、电相反的研磨盘消除了静电荷和边缘舍入。最后，该单元还包括一台获得专利的"智能平面检测"机，该机在研磨过程中监控晶片表面，并自动调整研磨轮以精确完成。此过程允许更高的吞吐量,并减少成品中的缺陷数量。SATISLOH Duo-Flex专为广泛的行业而设计，为精密加工表面的晶圆的生产提供了强大可靠的机械。Duo-Flex采用双主轴设计,结合了先进的功能,是一种非常高效的方法,可快速将表面光洁度降至0.2 µm。