二手 SATISLOH Duo-Flex #9411240 待售

SATISLOH Duo-Flex是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在实现更高通量、精度和一致结果的生产。该系统采用两个独立的研磨轨迹，可以串联或连续操作。Duo-Flex在高速和低分散排放的情况下运行,能够对直径达8英寸（200毫米）的晶片进行平稳、连续的处理。SATISLOH Duo-Flex的运动控制单元提供了易于设置和调整的精确参数，使各种硬度的材料能够自动化处理。Duo-Flex提供了以单步或多步模式处理晶片的灵活性。在单步模式下,单程切除薄片,而多步模式在表面准备方面提供更高的精度。在这种模式下，研磨、研磨和/或抛光工艺分为两个或更多步骤，使用不同的磨料或化合物。本机可容纳不同类型的磨轮和抛光材料，包括无定形金刚石、金刚石填充树脂、CMC或陶瓷基抛光化合物。根据应用程序和公差要求,可以将晶片抛光到不同级别的表面粗糙度和粗糙度平均值。磨料和抛光材料可以很容易地手动或自动改变与相关参数的监控。SATISLOH Duo-Flex还提供了包括金刚石剂量工具和吸尘器的微调机制。金刚石配料资产使金刚石化合物的确切数量能够分配到特定于材料特性的晶片上，而吸尘器除去多余的材料以便于清洗和维护模型。而且Duo-Flex设有检测站。该工作站扫描处理过的晶片的图像并评估地形和表面状况。此反馈允许运算符在现场进行任何必需的参数修改,从而允许跨重复进程复制理想条件。总之，SATISLOH Duo-Flex是一种功能强大的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它具有高速、精确控制和灵活性,可实现高吞吐量、微调功能和一致的结果。