二手 SATISLOH SPM 50-2SL #9271649 待售

SATISLOH SPM 50-2SL是一种多功能晶片研磨、研磨、抛光设备，设计用于分析和加工直径达200 mm的晶片。该系统采用直接驱动膜片主轴组件，为半导体、MEMS、太阳能电池等设备的研磨晶片等多种应用提供高精度单晶金刚石研磨。该单元还用于面磨、背磨、研磨和抛光过程中晶圆表面的平面化。该机设有带有旋转台和三个直线轴的主轴模块组件，以支撑可变主轴。可变直驱主轴由高精度轴承支撑，提供高达50,000 rpm的可变转速。它还具有自动主轴振荡控制,确保均匀和一致的晶圆分离.该工具以刚性台式组件设计，配备单晶金刚石磨轮和可调节静水轴承资产，提供自由浮动平台。这样可以确保稳定性和准确性,同时确保0.002 µm的高可重复性精度水平。为了保证研磨的高精度，SATISLOH SPM 50-2 SL配备了计算机化定位模型。这包括显示微晶片表面以进行精确定位的数码相机和用于微处理操作的三个伺服驱动线性轴。SPM 50-2SL还包括一个集成的光学测量探头,用于连续监视和控制过程。探头包括用于测量晶片表面相对位置和角度方向的非接触式光学设备，以及用于检测表面缺陷的多光谱成像系统。最后,该单元采用直观的用户友好触摸屏显示屏进行设计,可直观显示整个过程。这允许操作员查看参数和设置,并根据需要进行实时调整。SPM 50-2 SL是各种前沿晶圆处理应用的理想选择。