二手 SCHNEEBERGER Sirius SMG #9066971 待售

SCHNEEBERGER Sirius SMG是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,可为各种晶圆加工应用提供完整、精确的加工解决方桉。该系统以紧凑的模块化设计为基础,拥有一系列功能,包括最精确的单个和多个尺寸晶片的高精度直列研磨、研磨和抛光。它具有一系列32位体系结构,如Index Servo Control （Index Servo Control, ISC）,它对各种工艺参数提供精确的力控制,以及集成的双轴倾斜主轴,可确保均匀和正确的研磨结果。此外,该单元还具有多种特殊功能,包括可变精细研磨头、集成光学保护机和高精度CleanTEC真空除尘站。该工具配备了强大而可靠的伺服驱动器资产,能够处理直径不超过100毫米、厚度从0.2毫米到3.2毫米不等的晶片。它的研磨头也能提供一系列的处理能力。该模型可以进行单步研磨和研磨操作，动态振荡技术进行运动平滑，并能达到高达2000 rpm的切削速度，以达到最佳工艺效果。中央控制面板允许用户快速访问重要的设备信息,而选项丰富、易于使用的控制界面可实现简单的导航和自动化流程编程,以及针对自定义配置文件设置的手动调整。该系统还具有广泛的特殊功能和易于使用的设置,可节省时间并最大程度地减少操作员疲劳。它包括一个内置的自动进纸功能,它允许按顺序处理多种晶圆类型,以及与PC兼容的软件,允许用户通过加工过程的图形化可视化来监视和控制设备。此外还有一些可选的功能，如自动过滤机，通过收集肮脏的残留物或颗粒来确保更清洁的工作环境，以及自动定位工具，以确保晶片的精确加载。总体而言,Sirius SMG资产提供了灵活性、性能和经济性的无与伦比的组合。其强大的硬件、创新和直观的软件以及广泛的功能使其成为高级晶圆研磨、研磨和抛光应用的理想选择。