二手 SCHNEIDER CCP 102 #293798628 待售
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SCHNEIDER CCP 102是一款晶圆研磨、研磨、抛光设备,经过设计以满足半导体行业的现代需求。该系统采用独特的设计和先进的研磨技术,使用户能够在短时间内获得最高的表面质量。该单元配备了能产生大于4 kN的力的高力直线电动机研磨主轴,振动和声响水平极低。这样可以在高精度的情况下实现高效的循环时间。结合了一种基于最新可编程逻辑控制器(PLC)的现代机器控制器,在多层次基板上提供了一个简单一致的过程。CCP 102设计用于与各种晶圆材料兼容,最大负载容量可达7.5kg。它配备了高度精确的偏心率调节工具,允许精度高达30 µm。该机还被设计为能够编程为50毫米至500毫米的晶圆尺寸,具有各种各样的研磨和抛光参数。SCHNEIDER CCP 102上的研磨抛光站配备了市场上最先进的磨料技术,允许快速精确的抛光效果。这一资产能够在晶片的正面和背面单通道产生均匀的抛光表面,CCP 102集成的非接触晶片厚度监测模型能够测量厚度,精度超过1nm。由于集成冷却装置控制晶片的温度和湿度水平,设备确保了动态研磨和研磨中的高精度热跟踪,以及整个过程中的温度监测。SCHNEIDER CCP 102的集成维护特性保证了机器的无故障运行。其洁净室级H14功能、自动诊断和清洁功能降低了所需的维护量;使其成为满足现代工业需求的理想选择。CCP 102是达到晶圆研磨、研磨、抛光精度最高标准的完美选择。该系统具有独特的设计和先进的研磨技术,为业界最优质的抛光晶片提供了卓越的性能和可重复性。
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