二手 SCHNEIDER SCG 121 #9161016 待售
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SCHNEIDER SCG 121是专为制造先进的III-V复合半导体器件而设计的全自动晶圆研磨、研磨和抛光设备。它是半导体工业中的第一个此类产品,它提供了一个完全自动化的解决方桉,用于在纳米级的小型晶片上以高精度执行复杂的过程。SCG 121由三个处理元件组成:一个用于固定晶片的机械手臂、一个空气轴承研磨/抛光盘和一个相对于研磨/抛光方向旋转晶片的单轴倾斜级。晶片装入机械手臂并固定到位。然后将机械手臂移动到圆盘上,可以根据各种研磨/抛光角度进行调整。倾斜级也可以调整,以确保晶片在圆盘的同一区域上不断通过。系统还包括一个带有图形用户界面的控制单元,用于控制整个操作,包括设置磨削/抛光角度、速度和每个工艺的持续时间。此外,某些模型可与数据记录器一起使用,以记录进程历史记录和参数。该设备采用先进的反馈和控制技术构建,可帮助实现高度精确的公差和极端的过程可重复性,即使在长期生产过程中变化也很小。它的稳定性要求,加上机器的自动化操作,使得它成为最苛刻的高可靠性半导体器件制造工艺的理想选择,例如创建纳米级栅极阈值电压或使用全表面研磨和抛光技术结合先进的金属化层。SCHNEIDER SCG 121还允许通过选择金刚砂布、金刚石浸渍垫或研磨膜等不同介质来定制研磨/抛光工艺,以达到最佳表面光洁度质量。其良好的机械结构设计非常适合高振动环境,还提供高效的刀具冷却和加热,具有优异的工艺稳定性和长期可靠性。该资产还设计有安全功能,以帮助确保操作员的安全。SCG 121是晶圆研磨、研磨和抛光的前沿型号,为半导体制造提供了卓越的灵活性、准确性和生产率。这种多功能设备是制造具有纳米特性的可靠、精确的设备的理想选择。
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