二手 SCHNEIDER SLG 301 #9203345 待售
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ID: 9203345
优质的: 2002
Spherical surface grinder
CPU Has been replaced
Feed control:
Load dependent feed-rate control
CNC Controlled measurements ensure precise center thickness control:
Reduction of setup times
Process control
Tool control:
CNC Controlled recognition of the grinding tools
Significant reduction of the setup time
Verification of tool settings
Kinematics:
Manufactured on a cast-iron bed
Geo control:
CNC Controlled axis position
Optimization of sphericity
Working range maximum ø: 480 mm
Working range radius: 30 mm flat
Number of axes: 4 (5) + 1 (X, Z, B, C, (Y), Q)
Feed rate:
X-axis: 0.01 15000 mm/min
Z-axis: 0.01 7500 mm/min
Positioning accuracy
Repeat accuracy:
X-axis: +/– 0.001 mm
Z-axis: +/– 0.001 mm
Feed rate b-axis: 0.01 – 2160 °/min
positioning accuracy
Repeat accuracy B-axis: +/– 4"
Tool spindle connection: 40 x 80 HD, HSK-A 50 (TC)
Speed range: 1000 – 7000 min^-1
Workpiece spindle connection flange ø: 120 mm
Speed range workpiece spindle: 25 – 1500 min^-1
Power requirement maximum: 25 kW
Air requirement min: 6 bar (90 psi)
Vacuum min: 0.6 bar (9 psi)
2002 vintage.
SCHNEIDER SLG 301是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在满足最苛刻的薄晶圆加工要求。它具有模块化的开放式框架设计,便于访问、安装和维护,因此提供了高度的灵活性。系统的核心是它的高速、多压力涡轮电机，它能够产生高水平的功率，无论起始材料的类型如何，都可以精确控制。这种强大的电动机与可调节的偏心质量配对，允许最大速度控制和精确计算研磨、研磨或抛光过程的接触压力的能力。SLG 301采用计算机控制的研磨、研磨和抛光工具,可确保可重复的过程执行、精度、准确性和一致性。然后将由操作员控制的刀具安装到预定义的研磨、研磨或抛光过程中，并允许再现结果。SCHNEIDER SLG 301的工艺可以包括晶圆和其他材料的研磨、研磨和抛光,包括蓝宝石、石英和光纤。此外，该装置能够处理厚度在0.5mm至50mm之间的晶片，以及厚度在300 mm以内的材料。SCHNEIDER SLG对过程处理的安全性至关重要。由于其传感器盒和数字电气套件，机器配备了广泛的安全和监控功能，包括监测晶圆温度，监测抛光力和运行速度以及监测研磨或抛光盘的磨损。SLG 301配备了用户友好的操作机器,可实现快速高效的晶圆工艺设置和控制。设置中包括以下步骤：文件管理、过程参数设置、晶片准备、晶片修复、过程执行、晶片卸载和后处理数据分析。该工具还提供复杂的工艺数据分析，如工艺参数历史、基板计算和晶圆输出计算。SCHNEIDER SLG 301是那些需要多功能可靠晶圆研磨、研磨和抛光资产的人的完美解决方桉。由于其优越的技术和精确的控制，它甚至可以处理最苛刻的晶圆处理要求。
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