二手 SECULAR XJ-36 #9280303 待售

SECULAR XJ-36是专门为研究和生产应用而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统非常适合需要垂直和径向取向的薄膜工艺，以获得最佳的研磨和抛光效果。多倾斜角卡盘可以方便材料加载和晶片加载，提高生产率和吞吐量。该单元还可用于制造复杂形状的复杂零件，使其适合广泛的研究应用。XJ-36磨床由两个晶片托架组成，带有安装的主轴驱动电机和研磨主轴。此工具专为在最坚韧的材料上进行精确且可重复的研磨而设计,使用户能够准确地形成和塑造元件。它还包括一个完全集成的数字控制接口，提供全面的过程控制、编程、数据捕获和分析。这款数字管理器专为用户提供易于使用的直观操作功能而设计。SECULAR XJ-36的研磨和抛光系统有一个机械臂来处理模板，一个机械臂可以同时用于进模和放置回到原来的载体，以及一个双研磨板。这种多功能机器人资产旨在为过程控制和优化提供最大的灵活性。XJ-36还包括一个全自动晶片加载/卸载模型，它允许更大的灵活性和分割过程。该设备还包括晶片边缘检测机器人，用于精确的边缘控制、边缘去毛刺、晶片基板变薄和边缘倒角。SECULAR XJ-36具有用户友好的操作界面,具有石材选择、程序存储、参数设置和石材管理功能。有了自动视觉识别系统，可以方便地在处理前后检查晶片的表面、边缘、厚度和半径。该单元还能够跟踪和记录每个样本的确切过程数据，从而在完成完整过程后便于分析。XJ-36还设有一个集成的高频加热设施，使用户能够在不停机的情况下调节晶圆的温度。它还提供冷却机，以减少工艺时间和达到最大质量的结果。该工具还采用真空卡盘进行进一步设计，该卡盘与研磨设备结合使用，有助于增加表面清洁。最后，该研磨模型配备了纳米颗粒研磨轮，非常适合MEMS、先进半导体、光子学等高端应用。