二手 SFT SPP4885 #9390988 待售

SFT SPP4885晶圆研磨、研磨、抛光设备设计高效、产量最大。该系统具有全自动处理序列,具有卓越的晶圆处理能力。该单元包括一个先进的双面研磨（DSG）单元，一个多功能晶圆研磨站，以及一个完全集成的抛光单元。DSG单元配有两个水平主轴，用于在一个工艺周期内同时研磨晶片两侧。这种能力允许对晶片表面进行快速和精确的研磨，在2英寸晶片上达到4 ± 1 μ m的平坦度。多功能晶片研磨站具有两个垂直主轴，能够在一次操作中选择性地将晶片的一侧合圈起来。该工艺旨在在晶片表面上产生均匀的光洁度而不产生任何热量。该工艺的最终操作由集成抛光单元执行。该装置利用两个处理室进行强制空气净化，确保清洁的工作环境，并尽量减少任何潜在的污染。采用最先进的化学机械抛光（CMP）技术,实现了精确的表面光洁度.为了获得最佳效果,该机器配备了可选的实时压力监控工具,以确保整个过程中的最佳抛光条件。SPP4885晶圆研磨、研磨和抛光资产是为最高效率和生产力而设计的。其先进的自动化处理序列被设计为在大大缩短的周期时间产生优越的晶圆质量。该模型特别适合那些希望提高产量和提高陶瓷和半导体基板质量的制造商。