二手 SHENG TECHNOLOGY GTC-107021 #293647874 待售

SHENG TECHNOLOGY GTC-107021是一种自动化晶片研磨、研磨和抛光设备,可在晶片和半导体基板上产生极平坦、均匀且无缺陷的表面。这套系统适用于不同类型的材料，如硅（Si）、碳化硅（SiC）、砷化氙（GaAs）。GTC-107021有晶圆研磨、研磨和抛光两个阶段。第一阶段，机组采用固定磨料研磨，快速准确地降低表面粗糙度。本机配有金刚石磨轮，自动控制必要的磨削参数，创造所需的表面纹理和质量。第二阶段抛光工艺采用金刚石或磨料颗粒的松散磨料浆料，达到很高的平面化程度和表面光洁度。该工具还可以检测和跟踪表面缺陷,以便表征表面质量。该资产的机器人加载使大小和厚度各异的晶片易于加载和卸载。该过程可以通过人机接口进行监视,并且可以通过以太网或串行连接轻松访问模型的远程监视和控制。存储过程配方以及所有操作记录,以便于检索和分析。机床也是温湿度控制，冷却剂设备有助于防止金刚石轮子和泥浆过热。SHENG TECHNOLOGY GTC-107021提供了一种可靠、经济高效的晶圆研磨抛光解决方桉,实现了表面粗糙度极低、均匀性高、无缺陷性能符合标准的重复效果。该系统适用于广泛的半导体工艺，包括正面和背面研磨抛光、半导体晶片和基板的生产以及表面地形的检验。该单元可实现极其平坦、无缺陷和均匀的表面，用于各种应用，包括太阳能电池基板和MEMS。