二手 SHIMADZU HMV-2000 #293657210 待售
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SHIMADZU HMV-2000是一种精密研磨、研磨和抛光设备,其设计目的是在制造和精加工过程中实现最高的效率和准确性。HMV-2000具有一系列标准流程,能够轻松地适应特定的要求,因此可以灵活地满足各种应用程序的需求。SHIMADZU HMV-2000具有可容纳18英寸晶圆的大型研磨室。该腔室还包含两个独立的研磨板,用于优化加工均匀度和速度。此外,磨盘可快速更换,避免频繁磨削操作。系统基座由实心框架组成,而上部为汽车级铝。真空密封装置可确保研磨室内的密封性,从而使晶圆更大。该机还可用于晶圆的精密抛光、研磨、边缘研磨和平方。一个整体主轴电机提供精确的磨削功率在广泛的范围内设置RPM值。对于复杂而精确的操作,提供了一种可调节的修整工具,允许对砂轮参数进行自动微调。HMV-2000设计用于提供可重复、准确和均匀的结果,无论晶圆材料或尺寸如何。这是通过直接驱动资产和闭环数字速度控制实现的,始终提供平稳一致的目标操作。通过内置驱动器控制,该模型还提供了改进的过程可靠性,消除了随时间推移的潜在过程漂移,并降低了维护要求。SHIMADZU HMV-2000可通过集成晶圆数据采集设备通过PC进行控制,从而使操作员能够监视和控制研磨过程。这允许实时调整过程参数,并利用优化的统计过程控制(SPC)来确保产品质量一致。此外,该系统还能够保存用于未来晶圆操作的工艺配方。HMV-2000提供了一个多功能的精密研磨、研磨和抛光单元,非常适合半导体行业的广泛应用。SHIMADZU HMV-2000具有直观的设计、强大的驱动机器和控制功能,是寻求可靠高效晶圆研磨和精加工工具的理想选择。
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