二手 SIM RRF / 660 #9066958 待售

SIM RRF/660是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，设计用于高性能、自动操作，用于晶圆和基板的精密加工。它配备了三个独立的研磨/研磨/抛光头，允许提高生产率和减少循环时间。此外,系统还提供多种流程参数,使用户可以更好地控制其流程。RRF/660旨在以高效的方式高精度地研磨、拉圈和抛光基板。该单元配备了集成的西门子Sinumerik 840D控制器，此外还有真空密封室和高精度主轴。真空密封室允许精确、可重复的过程控制，并确保高质量的结果。高精度主轴确保了晶圆的精密研磨、研磨和抛光效果，是高质量半导体应用的理想选择。SIM RRF/660拥有多种自动化功能。例如，它对装载机和卸载机的集成，使得各种基材和晶片的高效定制装卸成为可能。此外,该机器还具有完整的对齐功能,可提高准确性,并具有索引器和过程跟踪功能,以便于操作。RRF/660还能够执行各种晶圆和基材工艺。这些过程包括晶圆研磨、搭接和抛光，以及表面剖面和化学机械抛光。此外,该工具还配备了可选的减梁和清洁模块,可提高工艺精度并减少资产停机时间。