二手 SOMOS MDF 400 Series #132873 待售
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ID: 132873
晶圆大小: 6"
Double sided lapping and polishing machines, up to 6"
Interchangeable configurations to process components 200 microns to 6".
SOMOS MDF 400系列是晶圆研磨、研磨和抛光的转键解决方桉。该系列专为当今新兴复合半导体行业的工艺开发、生产和计量应用而设计。该机提供了全自动的强大研磨、研磨和抛光操作,可轻松适应用户的应用要求。它配备了计算机控制的运动控制设备,能够实现精确的过程重复性,并提供金刚石磨轮、金刚石研磨板和抛光盘等可选工具。晶圆研磨、研磨和抛光工艺与SOMOS先进的软硬件控制解决方桉相结合,可确保高质量和高精度的结果,同时将加工周期和生产成本降至最低。MDF 400系列采用了许多先进的技术,可实现尽可能高的精度和晶圆表面完整性。先进的伺服控制磨削、研磨和抛光头设计始终保持最高精度和可重复性。这些磁头的定位精度为0.1 μ米,步长为0.025 μ米。用于单晶和多晶表面的研磨和抛光工艺可配置为与各种基板和设备配合使用。SOMOS MDF 400系列具有处理多种类型基板的能力。它具有处理125毫米、150毫米和200毫米晶片的单晶和多晶表面的能力。该机采用两级加热和冷却系统,确保整个晶片表面的温度均匀。此外,该装置还配备了动态除尘机,可消除过程中的细小颗粒和灰尘,同时保持动态工具环境。图形用户界面可轻松控制和监控SOMOS MDF 400,使其不受压力,并提供最大的灵活性。用户能够实时监控整个流程,分析流程结果并保存任何设置,以便能够精确复制流程。该机器还支持流程日志记录和报告,使用户能够准确跟踪流程数据,并获得对已执行流程的可重复性和质量的宝贵见解。MDF 400系列还提供了一套全面的安全功能,旨在满足所有相关安全规定。
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