二手 SPEEDFAM 10.5B-5L-V #9237028 待售

SPEEDFAM 10.5B-5L-V是一种精密晶圆研磨、研磨、抛光设备，设计用于完成先进的无疤痕精细平面加工。它具有冷却系统，广泛的金刚石浆料抛光能力，能够研磨和抛光直径达300毫米的晶片。该10.5B-5L-V是一个双盘单元，配有4轴运动控制机，允许实现各种高度专业化的表面饰面所需的精确控制。该工具最多可支持5个磨料磨削/抛光盘，每个磨削/抛光盘可根据速度、宽度和角度进行调整，允许为每个应用程序定制工艺。头部进给由精确的线性进给资产驱动,可确保高精度的可重复运动。机器还设有一个真空室，以帮助防止碎片污染工作表面。SPEEDFAM晶圆研磨模型具有全封闭的机柜，以提高安全性并提供清洁无尘的环境。设备配备了一系列的压力调节器、流量传感器和串联过滤，以确保压力和体积的正确组合一直供应到研磨/抛光盘，从而产生高质量、可重复的结果。该系统还包括过程验证功能,使其非常适合生产环境。可靠的数据记录允许一个中央单元维护每个研磨或抛光周期的详细记录,以及沿途所做的更改和调整。该机还包括自动刀具磨损补偿和研磨速度控制，确保用户可以一次又一次地实现精确的可重复结果。SPEEDFAM 10.5B-5L-V旨在在要求最苛刻的应用程序中表现出色。无论您是在半导体和光子学元件上工作,还是在先进材料上工作,10.5B-5L-V都能为要求很高的表面饰面提供最高的精度和精确度。