二手 SPEEDFAM 10.5B-5L-V #9257685 待售

SPEEDFAM 10.5B-5L-V是一种专业级晶圆研磨、研磨、抛光设备，设计用于半导体生产设施。该单元的10.5英寸压板提供高达五微米的精度与低振动操作。系统包括从12,000到35,000 RPM的主轴转速以及5到50 N厘米的研磨力。变速输送机允许快速晶片装卸和变速研磨。该10.5B-5L-V为用户提供了三步晶圆精加工工艺，包括初步研磨、研磨和抛光以及最终抛光。250瓦LED前照灯和集成的狭缝图样菱形为晶圆抛光提供了必要的照明。该装置采用精密的四轴承主轴设计，带有倾斜轴承，可去除较高RPM磨削过程中产生的热量。这样可以防止变形并确保精确的抛光效果。低振动设计还减少了磨削过程中较小部件的振动。该10.5B-5L-V有一个集成的空浮机，提供更平稳的操作和更好的晶圆研磨和抛光精度。它的陶瓷研磨板提供了一个均匀的表面，以获得更好的平整度，而五个定制配置的外围研磨刀片快速去除材料从晶圆的边缘。该工具还包括一个集成冷却资产，确保优越的滑动在抛光操作。此外，该10.5B-5L-V还配备了微处理器控制的操作模型和用户可编程的功能，使其极易使用。为了更好的过程控制，10.5B-5L-V包括记录研磨参数、质量控制数据和其他重要参数的实时数据跟踪设备。此数据可用于调整工艺参数,以提高吞吐量和可靠性。SPEEDFAM 10.5B-5L-V具有低振动操作、变速研磨、微处理器控制操作和实时数据跟踪功能,为半导体生产设施中的晶圆研磨、研磨和抛光操作提供了简单可靠的解决方桉。其用户友好的设计和可靠的性能使其成为任何晶圆处理环境的理想选择。