二手 SPEEDFAM 12B-1327 #9276208 待售

SPEEDFAM 12B-1327设备是为半导体和光电元件设计的高精度晶圆研磨、研磨抛光机。该系统能够实现高达0.2 µm的研磨精度，从而获得高度准确和可重复的结果。SPEEDFAM单元配备了两个研磨主轴，每个主轴都有自己的电机和主轴头，以及两个集成的平行研磨和抛光主轴，旨在确保研磨和抛光操作的均匀性。其独特的设计允许对不规则形状的部件进行高精度的研磨和研磨,并以最小的手动干预,以及能够自动调整各个工艺步骤的抛光压力。这台机器配备了一个控制器，该控制器具有用户友好的PLC编程功能，具有复杂的功能，如实时数据记录工具和可追踪的追踪性，可用于研磨和抛光操作。这种集成资产消除了对繁琐的设置和编程的需求,使其高效可靠。晶圆研磨主轴头装有专利的磨料篮总成,可确保晶圆整个表面均匀研磨。磨头由三个磨辊支撑，在保持相同磨削轮廓的同时，可以很容易地更换。此外,在磨削和抛光过程中,磁头由两级加载期支撑,确保均匀的纹理和表面光洁度。Lapping Spindles装有自动头对接模型,可根据每个晶片的表面轮廓调整工作压力。这消除了操作过程中过度研磨和不足研磨的风险，提高了过程的可靠性。抛光主轴装有专利的自动可调抛光头,可为每个晶片提供精确的压力,从而获得优异的抛光效果。它也可以被编程为先进的抛光技术，如波形抛光和图桉，以及传统和先进的抛光介质类型，允许更大的灵活性。12B-1327是一种高度通用的自动晶圆研磨、研磨和抛光操作设备。它具有用户友好的编程和高精度的结果，是半导体和光电元件加工的理想选择。