二手 SPEEDFAM 12B-5L #293795196 待售

SPEEDFAM 12B-5L是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,可为要求高精度和高效率的应用提供多种功能和优势。12B-5L可以加工前后晶圆直径达5英寸。它配备了变速直流电动机，允许9000至45000 RPM的变化磨削速度。SPEEDFAM 12B-5L包括安全联锁系统,该系统可防止进入研磨区域,并在联锁被清除之前阻止机器运行。12B-5L采用恒压研磨技术，保证晶片表面光洁度的均匀性。自动补偿控制功能补偿磨削压力,保证均匀的光洁度和精度.该单元还包括一个模具中心圆盘，允许精确晶圆同心度和位置精度。此外,SPEEDFAM 12B-5L还配备了可变进料速率,以最大程度地减少加工时间,并降低过度研磨和磨削不足的风险。12B-5L有一个旋转表索引机，可以安全和方便地加载和卸载晶片。表索引器工具由四个粗糙的驱动螺钉和四个精细的驱动螺钉组成,每个螺钉由高速电动机独立驱动,从而使表精确移动到所需的位置。SPEEDFAM 12B-5L还包括一个索引研磨附件，可以快速安装以执行半径研磨、轮廓研磨、脚跟倒角等特殊操作。指标研磨附件配有可移动的滑块，可以向前和向后移动45度，使研磨操作具有更大的灵活性。此外，12B-5L还配备了可调节压力的真空卡盘，允许在研磨操作过程中紧握晶片。这种真空卡盘在晶片上形成高度可靠的抓地力，提供一贯光滑和精确的表面光洁度。总体而言,SPEEDFAM 12B-5L是最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,专为需要高精度和高效率的应用而设计。它提供了广泛的功能和优势,使其成为需要高精度和一致性的操作的理想模型。