二手 SPEEDFAM 12B-6L #9007407 待售

SPEEDFAM 12B-6L是一种用于半导体制造的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统采用6个磨轮，能够精确快速地研磨半导体晶片，提供所需的表面光洁度和尺寸精度。该装置的设计具有卓越的质量和可靠的性能,可实现低批量和大批量生产。12B-6L具有一个30英寸的钢制封闭式腔室,带有传动强制通风功能,可进行有效的温度控制,这对于实现机器中所有晶片的均匀抛光至关重要。该工具还消除了晶圆由于过度磨削压力和温度而破裂的可能性。6个磨轮在台面上可单独调节，可编程为自动重复磨削序列。SPEEDFAM 12B-6L还具有工作流监视器（WFM）,这是一种过程控制资产,可帮助保持每个周期的均匀性和可重复性,确保晶片保持其所需的形状和表面光洁度。此型号使用可编程存储卡,以确保每个晶圆大小和厚度的结果一致。为了在生产过程中保持最高的质量标准,12B-6L使用了"安全联锁",以防止因人为错误造成的操作事故。它有一个位于磨轮上方的第十二代研磨板，用于去除边缘和表面毛刺。此外，机动化工作头可调节至多种角度OSA（光学球差），产生精度高、图像清晰的晶圆。设备配备计算机显示器和打印机，提供所有生产运行的数字记录。这提供了一个数据日志的完成晶片计数，磨料循环数和时间，抛光参数和晶片表面条件。然后将此日志打印出来,以便对数据进行进一步分析、审查过程和不断优化。SPEEDFAM 12B-6L是一个可靠的系统，消除了耗时的人工操作，从而提高了产量。它具有高精度和重复性，是半导体制造的重要工具。