二手 SPEEDFAM 12B-6P #9073042 待售

SPEEDFAM 12B-6P是晶圆研磨、研磨和抛光设备.它使用户能够快速研磨、膝盖和抛光直径达8英寸的半导体晶片。该系统适用于器件研磨、动力器件研磨、排水侧墙研磨、栅极氧化物研磨、平面化栅极电极、粗磨、屏障氧化物、抛光光洁度、MEMS抛光等精密应用。该单元包括集成12英寸双臂主轴电机和6英寸精密卡盘和6HP集成涡轮电机，用于高精度研磨和抛光。它还包括一对精密轴承安装的研磨/抛光盘、高品质的标准金刚石化合物、一套三轴空气浮表和其他各种配件，如各种样品架、一个铁箔和气动卡盘气压控制。该机具有良好的磨削和抛光性能,具有轻巧的触感和优异的表面光洁度.这是通过使用双臂主轴电机和刚性、高精度的卡盘实现的，这提供了一个非常平滑的操作与可忽略的振动。为了提高精度,在制造过程中,研磨/抛光盘和卡盘均经过精密加工和严格控制。集成涡轮电动机为材料的精确去除提供了非凡的动力。空气浮表提供样品与研磨/抛光盘之间的总接触，确保结果的可重复性，并密封清洁区域，以消除空气中的污染。此外,SPEEDFAM精心设计的样品持有者能够准确定位工件,并最大限度地减少抛光超出规格的机会。该工具还包括一系列易于使用的控制功能,允许用户根据自己的特定需求定制资产。总之,12B-6P是一种高精度晶圆研磨、研磨和抛光模型,旨在为用户提供最大的灵活性,以最小和最经济高效的方式完成一系列任务。该设备具有双臂主轴电机、优质标准金刚石化合物、空气浮表和各种样品持有者等多种特点，可实现优异的表面光洁度和结果的可重复性，是专业人士和业余爱好者的理想工具。