二手 SPEEDFAM 12B-8P III #293626845 待售

SPEEDFAM 12B-8P III是一种先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在为各种硬质和脆性材料提供卓越的表面光洁度。该系统能够高精度、快速、准确地抛光平面和非平面表面，适用于半导体生产设施。该单元由12个磨削和抛光头、8个抛光头、一个用于晶圆的进料盘、一个抛光垫和一个用于抛光操作的结构化压板组成。它允许使用金刚石磨料浆液或流体进行抛光，水压和流速可调节。它还允许使用柔性纸带进行研磨操作。该机围绕一个坚固的框架设计，具有自动主轴控制工具、精密直线电机和编码器，以及一个刚性结构，在操作过程中最小化振动。电机和编码器提供了高度精确的进给速率控制,从而可以在不牺牲一致性的情况下对表面光洁度进行更精细的调整。它还具有高分辨率触摸屏控制资产,可简化和简化模型的设置和操作。SPEEDFAM 12B-8P-III还配备了先进的安全联锁设备，必要时可立即暂停操作，从而确保操作员和晶片的安全。它还包括一个强大的水和磨料颗粒再循环系统，使环境影响最小化，降低维护成本。总体而言，12B-8P III是一个先进可靠的单元，为各种硬质和脆性材料提供卓越的表面处理效果。它还提供了高度的操作员安全，易于设置和操作，以及最小的环境影响。