二手 SPEEDFAM 12B #293639920 待售
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SPEEDFAM 12 B晶圆研磨、研磨和抛光设备的开发是为了满足当今集成电路和MEMS制造过程中使用的敏感且难以加工的材料对高级表面饰面的需求。该系统旨在在晶圆、晶圆按钮、骰子和其他薄膜基板上提供可靠且可重复的抛光效果。该装置利用先进的静态和动态抛光技术来生产成品表面。该机的基础是重型双层隔离底座,有助于提供出色的振动控制,从而获得优异的效果。此外,该工具还配备了功能齐全的控制面板,可方便、直截了当地操作。12 B配备了12英寸的研磨抛光板,能够覆盖广泛的研磨和抛光程序。再者,资产可以同时容纳多达三个不同的磨料带,因此可以同时处理不同的晶片和基板。框架还包括一个具有直边的固定长度的压板,可确保每个晶片的磨削切口一致。该模型还包括一个单独的研磨装置,可以在晶片和薄膜基板上产生精确、均匀的光洁度。它由一个由电动机驱动的径向臂和一个以固定速度旋转的压板组成。手臂将晶片或薄膜基板固定在适当的位置,并具有一组可调节的研磨轮,可让您调整研磨速率以达到所需的光洁度。该设备还配有专门设计的配件,以增强您的研磨和抛光工作流程。这些附件包括一个抛光垫适配器,它允许您连接不同的抛光垫和Platen Plate Adapter,以减少振动并提高稳定性。此外,该系统还配备了晶圆传输单元,以帮助转移晶圆而不会污染晶圆表面。SPEEDFAM 12 B晶片研磨、研磨及抛光机是一种理想的解决方桉,可实现在当今先进制造工艺中使用的敏感且难以加工的材料上获得优异的表面光洁度,以及在大型晶片和薄膜基板上实现精确、均匀的光洁度。该工具强大的设计和先进的技术提供可靠和可重复的抛光效果。
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