二手 SPEEDFAM 13B-9P #9170536 待售

SPEEDFAM 13B-9P是一种用于半导体精加工操作的最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它被设计用来处理各种类型的半导体材料，如硅、砷化氙和砷化​​的氙。该系统的主要特点是精度高、可靠性高。它配备了8轴数控控制器，用于精确的移动控制，并具有坚固的结构和不锈钢网状输送机，用于高效的物料运输。该机还配有一个使用数码相机进行晶圆检测的光学单元和一个用于广泛材料处理操作的高级软件包。它还有一个独立的直流电动机，用于最大速度控制和功率效率。SPEEDFAM 13 B-9 P通过积极的研磨垫操作，定期交换以保持其高精度。它具有高达9000 rpm的可变旋转速度和高达10kN的可变冲程力。它能够使用一系列晶圆尺寸，直径从75毫米到200毫米不等。此外，该机还配有可互换的磨头和可调节的压力机，以便对加工参数进行微调。该工具包括多种功能,可实现高效操作。它配备了包括压力、速度和扭矩计在内的先进工艺监控能力，以及在材料处理过程中检测潜在问题的传感器。其先进的数字触摸屏为安装和监控机器提供了方便的用户界面。此外,它还可以集成到现有的行业流程控制系统中,以实现高效的自动化。13B-9P是一种适用于高精度晶片的综合研磨、研磨和抛光解决方桉。它专为通用操作和可靠性能而设计,确保对任何半导体材料进行经济高效和可靠的研磨和加工。它非常适合用于高端半导体制造应用。