二手 SPEEDFAM 13B-9P #9191613 待售

SPEEDFAM 13B-9P
ID: 9191613
Double side wafer polishing system.
SPEEDFAM 13B-9P是一种精密晶圆研磨、研磨抛光设备.这一系统被设计为对包括硅、砷化氙和石英在内的所有类型的晶片基板都同样有效。SPEEDFAM 13 B-9 P配备了高扭矩电动机,可驱动连接到9英寸车轮的13英寸磨削/抛光板。该旋转机构能够提供超过100 rpm的转速,并由优越的耐腐蚀材料构成。该单元还具有自动施力和释放机,允许对研磨力进行精确控制。13B-9P还配备了多种选择,包括各种尺寸和形状的抛光杯,不同等级的粘合剂磨料,以及用于精确控制研磨力的压力调节器。该工具还包括用于检查成品的精密标准测量显微镜。13 B-9 P是完全自动化的,可实现最高的生产效率。这一资产还能够进行多次批处理,这意味着可以同时完成几种不同的基材,所有基材都具有相同的严格精度。所有研磨参数都可以轻松调整,允许不同的应用程序特定设置。SPEEDFAM 13B-9P是各种精密晶圆研磨抛光工艺的绝佳模型.它非常准确可靠,为一致和精确的结果提供了一个时间和经济高效的解决方桉。如果需要能够产生精确结果的设备,SPEEDFAM 13 B-9 P是完美的选择。
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