二手 SPEEDFAM 15B-5L-2M #9031446 待售

SPEEDFAM 15B-5L-2M是一种精密晶圆研磨、研磨和抛光设备，旨在满足当今半导体和其他先进材料加工应用的苛刻要求。它非常适合在硅、砷、氮、GaN、金刚石、蓝宝石和其他坚硬易碎材料上进行表面和成型研磨、研磨和抛光操作，以及光学表面的研磨和抛光。该系统非常适合在最终研磨、抛光和研磨工艺之前对多级晶片进行预厚处理。15B-5L-2M配有15 kW主电机、5 kW研磨电机和2 kW电磁卡盘，用于固定工作部件。它特别设计用于进行高效率的轮廓研磨、平整和抛光,最多可达到8英寸的晶圆。该模型包括一个精密XYZ横向，一个可调角度金刚石磨轮和一个直接驱动控制单元。由于其可调节的角磨轮,该机能够产生复杂的形状,并在单个通道内达到所需的工件轮廓角度。高精度磨床可提供较快的拆卸速度,并可达到0.2 μ m或更高的平整度。此外,SPEEDFAM 15B-5L-2M晶圆研磨、研磨和抛光设备还具有自动材料交换装置,可确保从进料器到研磨头的快速、准确的零件自动传输。闭环冷却模型可实现高效冷却,保持工件温度低和研磨过程稳定。该设备还包括用于目视检查和过程监测的先进视觉系统。视觉系统能够检测工件尺寸、位置、面积和形状的缺陷。此功能可确保非常准确和一致的生产,确保加工零件的最高质量。总之，15B-5L-2M是一种高性能的晶圆研磨、研磨和抛光装置，为加工最苛刻的零件提供了极好的精度、精确度和可重复性。这台机器可用于晶圆制造、LED制造、平板显示器生产以及许多其他应用等多种行业。