二手 SPEEDFAM 15B-5L #9276639 待售

SPEEDFAM 15B-5L是一种精密的晶圆研磨、研磨和抛光（WGLP）设备,专为要求最苛刻的应用而设计。该系统提供精密的表面精加工和允许低颗粒浓度和高质量的表面.该设备具有处理8"、12"和15"（200/300毫米）晶片的能力,具有动态和可重复的操作功能,以及广泛的可能过程。这台机器的模块化设计由三个核心部件组成，以便进行有效、可靠的操作：研磨站、抛光站和研磨站。磨床站配备了一个能够高速转动的伺服转动主轴，对实现的转速进行了极大的控制。抛光站由先进的抛光轮和主动冷却机及变速调节组成。对抛光工艺进行了全面控制，允许精确的粒径控制和精加工参数。研磨站配备了多种压力机和抛光技术，精度更高，操作更方便。15B-5L具有灵活性,具有广泛的操作参数,如工艺参数、功率级别、抛光头速度和其他变量。该机采用多种冷却技术进行高效散热，其控制系统是自动化技术的最新产品。全功能的机械臂设计的可靠性与最高的精度。还包括专有软件,以确保准确性和可重复性。这台机器提供了精密加工的极致，在半导体晶圆研磨、研磨和抛光方面有着广泛的应用。利用SPEEDFAM 15B-5L,用户可以获得提高准确性、速度和成本效益的优势。此高效工具专为最具挑战性的生产程序而设计,满足最严格的行业要求。