二手 SPEEDFAM 15B-5P #9208821 待售

SPEEDFAM 15B-5P是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备,能够产生极其精确且精细的精细级饰面。该系统是化学机械抛光（CMP）工具，非常适合用于半导体、MEMS等相关应用的研磨、研磨和抛光晶片。此单元使用旋转控制头以及压板和机器人来调整研磨过程,并针对您的特定应用进行优化。15B-5P模型的线性轴定位精度± 2 µm，可重复性± 1 µm。它在X（水平）和Y（垂直）轴上也有+-0.5µm的重复性。SPEEDFAM 15B-5P的工作区域直径为15英寸,深度为5英寸。该型号还采用了运动范围广、最高500 RPM的旋转控制头，允许光滑方便的晶圆研磨、研磨、抛光。15B-5P还具有各种专门为您的应用设计的磨石、磨料和抛光介质。SPEEDFAM 15B-5P还提供了许多其他功能。其中包括自动装卸、装卸、装卸转移、自动研磨抛光控制机、减尘工具和集成式热交换器资产。它还有一个自我诊断操作员界面，一个安全互锁模型，以及其他一些安全功能，以确保所有任务以最小的风险安全准确地进行。15B-5P是晶圆研磨、研磨和抛光的市场领导者,非常适合需要高性能、高效和可靠设备的制造商和专业用户。这台机器不仅能提供各种表面处理和复杂的地形，而且还能提供可重复和令人满意的结果。