二手 SPEEDFAM 16B / 18B #9271461 待售

SPEEDFAM 16B/18B是由SPEEDFAM Corporation开发的晶圆研磨、研磨及抛光设备。该系统用于各种晶圆加工应用，包括材料去除、抛光和清洁。它可以容纳来自不同制造商的多种晶圆尺寸。16B/18 B采用全自动机械皮带磨削装置,利用高速主轴实现非常精确的材料去除和精加工轮廓。皮带设计符合特定要求，砂轮采用特殊复合材料制成。它还包括各种功能，旨在减少碎裂、毛刺和其他形式的加工损坏。利用SPEEDFAM 16B/18B的自动研磨站实现了精确研磨、低表面粗糙度和最优平整度。研磨机包括一个专用的工具头和一个用于施加研磨膏的旋转板。此外，该工具还配备了抛光模块，便于使用特殊的金刚石涂层车轮、磨料浆料和抛光垫进行抛光，以实现光滑的镜面。16B/18 B包括几个优化功能,可用于控制参数和优化整个过程,以提高吞吐量和更好的制造效果。这些优化功能包括边缘感测资产、晶圆跟踪模型、反向磁带扫描过程和底边检测设备。此外,如果检测到晶片不完整或损坏,系统还配备了内置的安全联锁装置,以停止该过程。SPEEDFAM 16B/18 B提供可靠和一致的结果，即使有困难的底物。它是广泛应用的理想解决方桉，包括复合半导体、IC、硅、BDC等的加工。该机器能够处理直径达18英寸的大型晶片。此外，它还提供各种配件和专门设计的固定装置，以便于加工。该工具还通过了CE认证,以符合国际安全标准。