二手 SPEEDFAM 16B-5L #293797039 待售

SPEEDFAM 16B-5L是半导体工业中使用的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它能够对直径最大为8英寸的晶片进行单晶片和批处理。系统装有32个位置的研磨头，允许在单个循环中最多可以研磨32个晶圆。该装置能够获得精确的研磨和研磨效果，非常适合大批量生产和研究应用。该机器包含一个转接机器人，设计用于在研磨、研磨和抛光站之间垂直移动晶片。机器人和斜墙防止磨碎和抛光台阶之间的颗粒交叉污染。研磨头设计为提供均匀的表面光洁度,并通过高级研磨、研磨和抛光提供精确的几何形状和尺寸。使用精密空气轴承主轴以恒定速度旋转晶片。主轴的悬浮力能消除振动，确保晶片在整个研磨过程中保持完全相同的位置。这有助于最大限度地减少对晶片进行评分或其他损坏的可能性。SPEEDFAM 16B5L工具还包含一台高速车载计算机,可控制资产的所有功能。这台计算机是用专用软件编程的，用于监控机器的运行。16B-5L提供卓越的吞吐量精度、可重复性和表面光洁度。这台机器具有生产半导体行业质量和精度最高的晶片的能力。它的高速、精确的操作和灵活性使其成为研究和大批量生产应用的理想选择。