二手 SPEEDFAM 16B-5L #9276640 待售

SPEEDFAM 16B-5L晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种用于精密晶圆精加工的全自动系统。该单元能够在10-20分钟的循环时间内进行快速、精确的研磨、研磨和抛光操作。SPEEDFAM 16B5L设计用于使用各种尺寸和配置的3升、4升和6升晶片,最大馈电速率为28-32英寸/秒。该机器还配备了专有的计算机控制真空室，可确保完全覆盖、彻底清洁和更安全的操作。16B-5L由一整套自动化组件组成,包括机器人手臂、多个磨头、轮架、研磨台、抛光机和CCD摄像机。机器人手臂能够编制索引以及携带多达五个工具，这样可以同时进行研磨、研磨和抛光操作，从而允许更快的循环时间和更高的吞吐量。磨头具有直线导轨、交叉进给轴向传动和双面主轴，以提高精度和多功能操作。16B5L的车轮支架采用耐用铝制而成，具有精密的滚珠轴承以及电动驱动和进给功能，可快速移动。研磨台具有可调节的速度、振荡和背压以及隔振功能，可提高效率和精度。工具中的抛光器能够使用各种抛光布和研磨膜进行操作，从而实现全方位的抛光饰面。CCD摄像机允许用户监控正在进行的工作，并确保晶片的精确整理。总体而言,SPEEDFAM 16B-5L晶圆研磨、研磨和抛光资产是一种全自动模型,专为快速、精确和可靠的晶圆精加工而设计。SPEEDFAM 16B5L配备了一整套组件,可确保高生产率,而机器人手臂、多个磨头、车轮安装架、磨床、抛光机和CCD摄像机则可保证最佳的光洁度。