二手 SPEEDFAM 16B-5P #293589766 待售

SPEEDFAM 16B-5P是一种通用、优质的晶圆研磨、研磨、抛光设备。它可以接受4"至8"晶片,能够实现卓越的表面光洁度和一致的结果,同时保持最高的吞吐量和工艺质量。晶圆研磨系统通常用于在背面研磨或化学机械平面化（CMP）之前从晶圆表面去除多余的材料。旋转和固定的研磨板由伺服电动机驱动，具有可调的转速。可以根据各种厚度的晶圆校准该单元,以获得最佳结果。16B-5P装有金刚石浆机，用于研磨和抛光操作。金刚石浆料自动分配，确保在任何时候都对晶片施加正确的浆料量。浆料在施用前经过过滤，可以根据正在进行的研磨或抛光操作进行调整。金刚石浆料也有温度控制，以保证最高水平的工艺重复性。SPEEDFAM 16B-5P还配备了可调水压工具，以确保泥浆颗粒均匀分布在整个工作面。该资产还具有自动托盘模型，可用于在整个设备中运输晶圆。自动托盘系统允许操作员在不同的工作板之间切换并调整其速度设置。为确保达到工艺质量的最高标准，16B-5P具有激光表面检测、工艺控制、实时晶片修复和温度控制等几个先进特点。激光表面检查单元允许操作员检测晶圆表面的任何不规则性，而过程控制机器则跟踪整个过程并随时监控刀具的性能。实时晶片修复能力允许快速调整研磨或抛光操作,从而提高工艺质量并提高吞吐量。最后，温度控制资产实现了精确准确的温度控制，提高了晶圆的均匀性和一致性。