二手 SPEEDFAM 16B-5P #293589767 待售

SPEEDFAM 16B-5P晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种精密的机器，旨在以最高效的方式生产出最高质量的表面饰面。其特点包括五站处理室、高效真空泵、高负荷压力表系统以及垂直和水平调节选项。16B-5P的五站加工室由高品位压铸基座构成，包括两块研磨板、一块抛光板和两块研磨板。这种构造允许同时研磨、研磨和抛光五个晶片一次，节省时间和成本。晶片板的设计非常耐用，能够承受磨削、研磨和抛光过程中的高负荷。研磨板模块装有一种特殊的陶瓷材料，对获得最佳的表面光洁度起着重要作用。SPEEDFAM 16B-5P还包括一个功能强大的真空泵，它能够快速创造一个约70微米深度的真空。泵还配备了显示当前真空水平的集成压力表。这样可以使真空压力快速轻松地调整到所需的水平。该单元进一步配备了高负载压力表单元，以确保施加到每个晶片上的压力保持在最佳水平。压力表通过位于单元内的一系列传感器测量施加的压力,可以手动或通过数字显示器进行调整。最后,16B-5P具有垂直和水平调整选项,以确保始终为正在执行的过程正确设置计算机。这样可以确保SPEEDFAM 16B-5P在所有基材尺寸和抛光介质上保持均匀的性能。综上所述，16B-5P是一种可靠、高效的晶圆研磨、研磨、抛光机，旨在以最高效的方式提供最高表面光洁度。SPEEDFAM 16B-5P利用五站加工室、高效真空泵和高负荷压力表工具,快速一致地实现了最佳的表面光洁度。设备的垂直和水平调整选项进一步允许在所有基板尺寸和抛光介质上实现通用的一致性和均匀性。