二手 SPEEDFAM 16B-5P #9212539 待售

SPEEDFAM 16B-5P
ID: 9212539
Double sided lapper machine Platen diameter: φ 1400.
SPEEDFAM 16B-5P是一种高精度、坚固的晶片研磨、研磨和抛光设备,使用户能够快速高效地处理大量晶片。作为一个自动化系统,其基于数控平台的机床构造可以适应不同应用的各类操作。该单元包含一个直径最大200毫米的标准16粒晶片载体。这允许用户在机器中轻松、安全地传输晶片。该机还包括PLC控制的5步研磨抛光工艺,使晶片的快速处理时间达到1 µm的精度。16B-5P晶片研磨、研磨和抛光包括几种有效研磨、研磨和抛光晶片的机制,以提供更高的精度和更高的平滑度。配备水冷、红宝石圈圈、金刚石圈圈,并采用在线抛光工艺,提高精度和导电性,达到更好的质量效果。另外,该机采用分散轮,使磨料介质均匀地分布在整个晶片区域,大大简化了晶片制造商的工作。该工具采用具有速度控制和自动关闭功能的主轴驱动马达,在使用各种磨削、研磨和抛光工具时确保过程的连续性和安全性。它还具有一个对角轮和硅胶密封在整个研磨过程中完整的晶片保护。此外,资产利用离心力确保均匀研磨以及集成真空系统,以保持研磨介质自由,并从晶片中抽出地面材料。SPEEDFAM 16B-5P模型为各种晶圆提供了一种多功能的晶圆研磨、研磨和抛光解决方桉。智能功能使其易于使用和维护,同时提供一致和可靠的结果。其结果是成本效益高、效率高的晶圆研磨、研磨和抛光设备具有最大的灵活性和精确度。
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