二手 SPEEDFAM 16B-5P #9252228 待售

SPEEDFAM 16B-5P晶圆研磨、研磨和抛光设备是实现晶圆生产质量最高水平的精密研磨系统。它设计用于研磨，膝盖，和抛光薄晶片用于电子和半导体。该单元由坚固、闭环的精密控制机组成，保持精确的抛光压力、进料速率和粒径分布。刀具的主要组件是研磨台、研磨台、抛光台和晶圆处理资产。磨床采用通过泥浆泵的研磨泥浆流动以及压力分布控制模型。磨料浆料可应用于磨床，以达到所需的晶圆尺寸减小。此外，磨床可以利用不同类型的磨石来获得所需的表面光洁度。研磨台具有多种研磨介质，包括用于调节晶圆平整度的研磨粉和浆料。此外，它还配备了可调节的压力设备，能够实现均匀的研磨压力，以及收集过程中产生的研磨粉尘的除尘系统。抛光台提供了消除晶圆表面随机划痕的环境。抛光台采用均匀的电控抛光头,可确保一致的平整度和表面光洁度。此外，抛光头由电动机驱动，如果磨削压力超过预设极限，可以立即停止。晶片处理系统具有自动晶片加载、卸载和传输功能。自动装卸装置无需人工干预研磨过程。此外，通过在磨削阶段和抛光阶段之间快速高效地传输晶片，大大提高了机器的吞吐量。16B-5P工具提供先进的过程控制和用户友好的软件，允许用户编程研磨，研磨和抛光参数。这为用户提供了优化生产过程以提高体积效率的能力。该资产旨在最大限度地减少材料浪费，提高晶圆质量。此外，该模型的设计是为了最大限度的安全和灵活性，以及提供一个清洁和无尘的工作环境。