二手 SPEEDFAM 16B-5SSG-2M #9191607 待售

SPEEDFAM 16B-5SSG-2M是一种紧凑高效的晶圆研磨、研磨和抛光设备。该系统包含五个可用于研磨和研磨工艺的主轴和两个用于抛光的主轴。顶部主轴兼具表面和边缘研磨能力，底部主轴提供表面和背面研磨。主轴曲面具有专业的光洁度,它们根据工作以可变的速度旋转。16B-5SSG-2M装有一个用于固定夹紧晶片的电动卡盘和一个用于装载晶片的电动提升装置。它还包括一个磨料浆料进料单元，使磨料浆料可以在研磨、研磨和抛光过程中使用。可调流量和供应料斗，以确保磨料浆料的连续供应磨削。机器配有扫描显微镜以监测制备过程，并配有视觉引导灯以辅助晶片零件的定位。刀具还配有水冷切削轮，以便在研磨和研磨过程中快速去除材料。资产的其他特点包括用于控制和操作的内部电源、用于将晶片固定在卡盘上的真空发电机、磁性卡盘定位模型以及用于研磨过程的各种介质。设备还配备了合适的可编程逻辑控制器来控制过程。SPEEDFAM 16B-5SSG-2M设计简单高效，适用于半导体和光电晶片的研磨研磨、抛光等多种工艺。它允许在各种生产环境中高效生产。该系统安全、可靠、经济高效，最高生产率高达每小时四个晶圆。该设备将为要求最苛刻的应用程序提供多年可靠且可重复的研磨、研磨和抛光效果。