二手 SPEEDFAM 16B-5SSG-2M #9257687 待售

SPEEDFAM 16B-5SSG-2M是为先进半导体加工而设计的多功能晶圆研磨、研磨、抛光设备。这个系统由一个集成的机架组成，五个主轴可以处理多达16英寸的晶片。每个主轴最多可容纳两个8英寸盒式磁带或一个16英寸盒式磁带。所提供的伺服电动机产生恒定的工作速度,最高速度为300 RPM,而电源进给器对研磨和/或研磨过程施加调节力。该装置的主要应用是对薄薄或细腻的基板进行超精密研磨和抛光，如硅片和超薄玻璃。横轴磨削站可提供跨所有轴向的高质量加工。该机器还装有一个工作中（WIP）盒式磁带工作站,以确保每个研磨和/或研磨作业在指定的时间内完成。这是通过托盘化自动化来完成的，以确保工作快速准确地进出16B-5SSG-2M。添加自动流体分配工具可快速准确地输送流体,以确保磨削、研磨和抛光过程的最佳性能。此资产由用户友好的界面与屏幕上的机器控制进行管理,该界面允许操作员监视关键参数,包括研磨速度、切削力和流体水平。此外，软件控制的数字干燥室可用于产生涂层和耐磨性，并有助于减少因处理不当而产生的排斥。该型号包括内置的安全功能，如"锁定"功能，以帮助防止在维护过程中意外操作。门锁设备还确保人员在维护和操作过程中的安全。该系统设计具有低噪声操作和最小化振动，以确保操作人员的舒适性和减少任何环境影响。SPEEDFAM 16B-5SSG-2M已被证明是一种成本效益高、可靠且准确的半导体精加工解决方桉。