二手 SPEEDFAM 16B-5SSG #293639480 待售

SPEEDFAM 16B-5SSG是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,旨在满足MEMS、半导体和光电子制造商的苛刻要求。16B-5SSG采用模块化的低高度设计,允许在安装和维护过程中访问整个机器。该系统包括集成的电气面板、节能变频驱动器和精密数字控制器。SPEEDFAM 16B-5SSG配备了先进的固定板研磨架，采用了最先进的空气轴承技术，具有优越的平整度和晶粒保持力。这一独特的功能允许同时在多达5个晶片上设置和操作多任务研磨或精加工操作。除了先进的研磨技术外，16B-5SSG还采用了集成真空装置和定制设计的带有集成加热元件的支架。利用这台机器，晶圆的温度可以在整个抛光过程中精确调节。这样可以确保稳定的研磨和抛光,而不会对晶片产生热冲击。SPEEDFAM 16B-5SSG具有一整套安全功能，包括安全互锁工具，以防止未经授权进入资产，静电屏蔽以尽量减少EMI排放，以及紧急停止开关，以便在出现意外危险时关闭模型。16B-5SSG的设计满足了最严格的工艺要求,并配备了精确的控制能力,包括精确调整进料速率、研磨机直径、研磨压力、主轴速度和抛光速度等工艺参数。该设备已通过SPEEDFAM的测试和验证，以确保可靠和可重复的晶圆研磨、研磨和抛光。SPEEDFAM 16B-5SSG提供了更好的生产率和最小的浪费和最大的操作安全性。它非常适合于半导体晶圆、MEMS和光电元件的研磨、研磨和抛光，以及电子和光子学行业的其他复杂工艺。