二手 SPEEDFAM 16B #293768837 待售

SPEEDFAM 16B晶圆研磨、研磨和抛光设备是一种用于半导体器件加工的多合一解决方桉。这种经济高效的系统提供了更高的效率和一致的抛光表面。它设计用于以高达每分钟30转（RPM）的速度处理直径为1"、5"和6"的晶圆。该单元包括两个研磨阶段、两个研磨阶段和一个抛光阶段。第一研磨阶段采用反向旋转圆盘来减小每个晶片的尺寸。可调间隙控制圆盘的大小,以确保磨削结果一致。第二研磨阶段利用固定研磨轮进一步减小晶圆尺寸，平滑缺陷。接下来的两个研磨和抛光阶段允许精确完成。这两个研磨阶段采用旋转研磨盘进一步减小晶圆的大小和创建一个均匀的表面。旋转的研磨板是可调的，以帮助达到所需的平坦度。一个磨料填充糊剂进一步平滑表面和消除任何剩余的缺陷。抛光台利用柔软的膝盖使晶片具有镜面光洁度。整个过程是自动化的,可以通过SPEEDFAM软件界面进行远程管理。这种人性化的界面允许操作员在研磨速度、研磨压力、研磨速度、研磨压力和抛光压力等方面控制机器。此外,该界面还具有一套诊断和趋势分析工具,可帮助排除任何问题。SPEEDFAM 16 B晶圆研磨研磨抛光工具是半导体器件制造的高效解决方桉。它在一个资产中执行所有三个过程的能力不仅提高了效率，而且产生了一致的结果。研磨和研磨速度、压力和抛光选项的范围确保任何项目都能以最高精度完成。