二手 SPEEDFAM 16B #293825223 待售

SPEEDFAM 16B是为半导体晶片精密表面精加工而设计的晶片研磨、研磨和抛光设备。该系统生产的高精度晶片表面具有一致、均匀的光洁度,符合半导体器件的行业标准。SPEEDFAM 16 B设计用于在各种不同的材料上提供一致的、可重复的过程，从Si和SiO2的硬质非工作层到III-V复合半导体材料的薄单晶层。16B提供直径可达300毫米的晶圆研磨、研磨和抛光能力。该单元针对需要严格表面光洁度的材料进行了优化，如蓝宝石和金刚石晶片。该机配备了精密主轴机，可进行研磨和研磨操作，以及精细的抛光操作，其中需要极其光滑、均匀的饰面。该工具还具有一个具有各种不同磨削和研磨石材的测距头，这使得它容易产生任何材料所需的精加工。集成的接触检测资产感应材料的当前状态，从而可以精确控制研磨和研磨过程。16 B还提供了一种可调节的空气轴承，用于处理悬浮在空气中的晶片，从而减少了由于处理不当而造成污染和翘曲的可能性。SPEEDFAM 16B的工艺室温度范围为20-80摄氏度，非常适合热处理。该模型还配备了晶圆检测和缺陷分析的集成图像设备。该图像系统可用于快速准确地识别晶片缺陷,有助于确保一致的过程结果。此外,该设备还包括高级工艺监控和测量功能,以确保卓越的精加工质量。总体而言,SPEEDFAM 16 B是一种理想的解决方桉,适用于需要各种材料精密表面处理的操作。先进的过程监控和测量功能与集成成像机相结合,有助于确保卓越的成品质量和一致的结果。可调空气轴承也有助于减少晶圆翘曲和污染的机会。这些特性使16B成为晶圆研磨、研磨和抛光的高效、可靠且经济实惠的解决方桉。