二手 SPEEDFAM 16B #9281362 待售
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SPEEDFAM 16B是SPEEDFAM开发的用于精密晶圆和光学元件加工的单面研磨、研磨和抛光机。该机器为各种硅、石英、玻璃、陶瓷、铁氧体、复合材料和其他材料提供出色的研磨、研磨和抛光能力。该设备能够超精度处理200毫米(直径)以下的基板尺寸。它能够实现小于1 nm rms粗糙度的表面粗糙度,以及在高达10度夹角的曲面上提高的角度精度大于3弧秒。该系统配备了人性化的直观人机界面(HMI),用于控制研磨、研磨和抛光过程。它采用两级磨轮,多金刚石颗粒,提供更好的表面光洁度。它还有一个自动刀具更换器和一个刀具型控制单元,以确保获得最佳表面光洁度。这台机器的设计是为了最大限度地提高生产效率。它的特点包括一个创新的速度可调抛光平面精确调整研磨和研磨操作。它还有一个自动加载工具和过程监控。此外,一个压力控制的负载单元来测量由于磨轮或抛光而造成的表面变形,可以帮助提高生产力。该资产还确保模型的安全性,用安全边缘探测器来控制研磨速率。它还提供了整个研磨、研磨和抛光过程中过程参数的实时数字显示。SPEEDFAM 16 B设备具有高精度和精确度,适合在严格要求下处理晶圆和光学元件。
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