二手 SPEEDFAM 18 DPAW #9226985 待售
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SPEEDFAM 18 DPAW(双板磨料轮)是一种晶圆研磨、研磨、抛光设备,设计方便半导体晶圆的简单高效处理。该系统经过专门设计,能够提供高精度和高通量,从而能够制造复杂的集成电路。该装置采用两个双面磨料盘轮,可提供精确的切片操作。此动作允许半导体晶片的高度一致的研磨、研磨和抛光。18 DPAW是一种紧凑型机器,具有6轴运动机器和可改装的卡式工具。卡带资产允许处理一系列基板,而不会导致大量机器停机。此外,该型号的主轴速度高达3000 RPM,精度高达75 µin/。高性能研磨、研磨、抛光界面进一步集成到设备中。磨削界面设计为提供真实、均匀的材料去除,而研磨工艺则提供了高质量的光洁度和良好的表面光洁度。SPEEDFAM 18 DPAW还具有用户友好的控件,使用户能够修改参数和设置。还包括Wi-Fi和以太网连接,提供本地或远程访问控制、编程、诊断和其他监视功能。通过集成的HMI (Human Machine Interface)进一步提供操作员反馈。该系统提供了一个可升级的控制器,使其易于维持单元寿命和性能。18 DPAW额定输入电压为110至220 VAC,功耗为10至20千瓦。这台机器可以在10°C至35°C的多种工作温度下操作。该工具包含一年保修,包括增强的培训计划和客户技术支持。SPEEDFAM 18 DPAW结合了易于使用的控制资产、高性能研磨和研磨界面以及用户友好的参数,提供了高效的晶圆研磨、研磨和抛光模型。该设备速度快、精度高、精度高,非常适合复杂集成电路的制造。
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