二手 SPEEDFAM 18B-4L / 16B-5L #9208824 待售

SPEEDFAM 18B-4L/ 16B-5L是为商业用途而设计的晶圆研磨、研磨和抛光设备。它是一个先进的系统，为半导体行业的各种应用提供高精度的表面精加工。此高性能单元由多个组件组成,包括磨床、扬声器、抛光器、缓冲刀片和复合板,所有这些组件均通过全自动过程进行控制。研磨过程从高速砂轮开始，该砂轮以高达4,500 RPM的转速旋转，以便从晶圆表面准确有效地去除多余的材料。研磨后，采用金刚石粘贴和压缩的优化旋转研磨装置进行研磨，以保证晶圆表面的平整度和平行性。研磨过程之后是专门的抛光机，它具有广泛的设置，以实现精确的平面化和表面精加工。这种高度精确的抛光工具可实现高达0.2 μ m的边缘梯级,表面纹理可降至0.052 μ m （Ra）。然后,资产将使用缓冲器刀片、复合板和其他专用工具来产生高度抛光和反射的表面光洁度。18B-4L/ 16B-5L还提供各种高级功能,如可定制的工艺配方、对研磨、研磨和抛光时间的精确控制、负载监控和诊断功能、产品可追踪性等等。这些以及模型的高准确性和可重复性,使其成为各种材料和应用实现高质量结果的合适解决方桉。