二手 SPEEDFAM 18B-4P-1M #9133577 待售

SPEEDFAM 18B-4P-1M设备非常适合精密晶圆研磨、研磨和抛光应用。它具有耐用、坚固的设计，包括钢基和可容纳四个不同加工区的制造框架结构。安装在底座上的是四个倾斜和剪刀提升台，同时处理不同角度或工作面高度。每个工作台的工作表面都采用永磁体,以便在湿磨或干磨、研磨和抛光应用过程中牢固地固定晶片。高扭矩、变频无刷直流电动机可实现0至3600 RPM的宽转速设置。该系统包括尘埃控制和过滤系统，以消除空气中的微粒污染。该设计确保晶圆研磨、研磨和抛光工艺高效、操作方便，同时降低潜在环境危害暴露的风险。湿磨或干磨、研磨和抛光过程采用三轴线角运动控制和精确定时运动控制。这一过程包括切割和去除过程，从而为光学和/或化学表面处理做好了预处理准备。该单元利用顺序链接的操作来实现所有晶圆大小的迭代处理。晶圆可以手动加载/卸载,也可以通过自动晶圆处理系统加载/卸载,具体取决于应用程序。根据应用程序的要求,18B-4P-1M设计可容纳各种流程参数。它可以很容易地调整，以控制表面表面的质量和所需的超微结构效果。作为机器安全和操作特性的一部分，所有晶片位置都受到精确监控。SPEEDFAM 18B-4P-1M是晶圆研磨、研磨和抛光的理想工具。其集成的设计使过程控制更加严格,灵活,能够提供高质量、精确的结果,同时保护环境和产品免受环境危害。它在整个过程中提供闭环、精确的控制，确保每次晶圆运行都具有可重复的精度和精确度。