二手 SPEEDFAM 18B-4P-1M #9212616 待售

SPEEDFAM 18B-4P-1M是一种晶圆研磨、研磨和抛光设备，专门设计用于在需要时提供精度和准确性。它是一个自动化的单通系统,能够对尺寸不超过18英寸的晶片执行平磨和抛光操作。18B-4P-1M具有高速的4轴主轴,可进行快速、精确的研磨和抛光操作。4轴主轴能够以高达20,000 RPM的速度运行,并提供0.001英寸（0.02毫米）的径向精度。SPEEDFAM 18B-4P-1M还设有单点恒力补偿单元，用于补偿磨削和抛光过程中遇到的不断变化的切削力。这样可以在机器内保持一致的准确性和可重复性。该工具采用"无大惊小怪、无杂乱无章"的方法进行设计,可实现快速、轻松的设置和操作。18B-4P-1M是由两个主要组成部分组成的模块化资产；磨削/抛光头和机器人控制器。磨削/抛光头包括四轴主轴，带有均匀平整的滑水板，定制加载机器人和冷却剂输送模型。主要研磨/抛光头能够对各种材料进行研磨、研磨和抛光操作。机器人控制器用于管理磨削/抛光头的机器人装卸特性。SPEEDFAM 18B-4P-1M还配备了几种不同类型的研磨/抛光介质供设备使用。该介质的设计提供了优良的表面光洁度和低表面变化的各种材料。磨削/抛光介质还提供更快的循环时间,有助于减少清理时间。18B-4P-1M还被设计成一个用户友好的系统，包括标准的触摸屏用户界面和集成的单元监控软件包。该监视软件允许对机器中的任何异常进行连续监视,并提供有关研磨/抛光过程的详细报告。SPEEDFAM 18B-4P-1M是一种自动晶圆研磨、研磨和抛光工具,专门设计用于在需要时提供精度和准确性。它采用模块化设计,易于设置和操作。资产包括高速4轴主轴、恒力补偿模型，以及适用于不同材料的广泛研磨/抛光介质。它还配备了集成的用户界面和设备监控软件包，使用户能够在研磨和抛光过程中监控系统性能。