二手 SPEEDFAM 18B-5L #9143480 待售
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ID: 9143480
优质的: 1983
Lapping system
Includes:
Pump
Wafer position correcting carrier
Direct lead
Instruction
1983 vintage.
SPEEDFAM 18B-5L是一种创新的晶圆研磨、研磨和抛光设备,用于在微电子设备上创建超高精度表面。它采用研磨和研磨工艺的组合,在晶圆上实现光滑、完美的光洁度。该系统适用于晶圆研磨、研磨和抛光各种材料,如硅酸铝到激光烧结金属和陶瓷。18B-5L单元具有全功能的过程控制功能和自动化功能,允许从每个零件周期获得可重复、一致的结果。机器上装有一个大的磨盘,上面有一个卡盘顶架,上面有可移动的板。利用变速驱动器,SPEEDFAM 18B-5L可以编程为以200至3000 RPM的宽速度执行不同的研磨和研磨任务。该工具还能够与金刚石浆料或非金刚石磨料研磨。18B-5L有一个专利冷却剂资产,提供冷却剂的磨盘,当它运行。该模型还带有显示研磨和研磨过程参数的数字显示屏,如旋转速度和当前温度。显示器还有一个真空连接,以保持工件的安全,同时研磨和研磨。SPEEDFAM 18B-5L拥有装卸机器人、自动化板、晶圆后磨盘、敷料盘、板架、接触轮更换、金刚石浆等全方位外围设备。该设备还具有电离飞溅防护功能,以减少静电放电的可能性,并确保工作环境中的最高安全水平。其变速传动、带有卡盘顶座的磨盘、全过程控制能力、专利冷却剂系统、数字显示屏和全系列外围设备等特点的结合,使18B-5L成为高精度表面的强大研磨单元。它使用户能够快速、高效、最高安全级别地创建超表面。
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