二手 SPEEDFAM 18B-5L #9208857 待售

SPEEDFAM 18B-5L是一种最先进的晶圆研磨、研磨和抛光设备,用于在半导体晶圆上生产超光滑、精确且均匀的表面。该系统由五个主要组成部分组成：一个皮带研磨单元、一个行星研磨机、一个CMP研磨抛光机、一个高精度抛光滑块和一个模块化自动化单元。皮带研磨装置的设计目的是将晶片研磨和抛光到非常平坦的表面上，然后再在其他装置中进行加工。该装置利用可调节的速度驱动器根据所需的结果来改变动力抛光带的速度。皮带研磨单元还包含一个真空室，用于在研磨过程中捕获碎屑。行星磨床是研磨和研磨晶片的理想工具。这个单元使用旋转的细金刚石磨料和抛光垫在晶圆上形成均匀的表面。行星磨床设计有可调节的速度控制，以允许更精细的颗粒用于精加工。CMP研磨抛光器的设计目的是在晶圆上实现非常高的亚微米抛光表面。机器采用专有的研磨抛光工艺，确保达到高品质的精加工。CMP研磨抛光机还采用了独特的水冷阻塞盘，以防止过热并确保达到所需的抛光效果。高精度抛光滑块设计为在抛光晶圆时提供高精度和重复性。该工具利用气动滑块臂沿着固定轨道移动,从而在晶圆表面上提供所需的抛光力。模块化自动化资产旨在与18B-5L模型的其他组件进行接口，从而实现晶圆处理的完全自动化。这种全面的自动化设备提供了对磨削和抛光过程的全面控制,从而实现了最佳效果和最大效率。总体而言，SPEEDFAM 18B-5L是一种先进的、最先进的晶圆研磨、研磨和抛光系统。该单元提供了无与伦比的精度、可重复性和控制，使其成为在半导体晶片上实现高质量曲面的理想选择。