二手 SPEEDFAM 18B-5LNS #9007409 待售

SPEEDFAM 18B-5LNS是SPEEDFAM America, Inc.该单元设计用于在半导体制造过程中高速加工各种直径的多个晶片，从2英寸到8英寸。该系统结合了从预抛光到最终研磨的所有工艺步骤，以实现晶片两侧的优越表面光洁度。18B-5LNS抛光机具有多种尖端特性，具有最佳性能。采用低调设计以方便晶片的装卸、改进固定围裙组件以减少起伏的晶片表面以及先进的气动分隔器等特点,这些分隔器可灵活处理各种尺寸的晶片。该机还采用了先进的基于PC的运动控制器，以提高精度和可重复性。SPEEDFAM 18B-5LNS的自动研磨、研磨和抛光功能设计方便、高效。该单元配备了两个独立的并排处理车厢。每节车厢都包括独立的装载盘，并配有卡盘。车厢为3轴机械驱动，采用高性能无刷伺服电机。这些功能的微细加工打磨/地面幻灯片和交叉进给机制，提供卓越的平滑和可重复性。18B-5LNS单元配备了一个特殊的精密工程主轴组件,可确保准确执行所有工艺参数。此外还有一台可调节高度、重力进料、晶圆处理机，可减少半导体废物和碎片堆积。该工具还采用了可配置的俘虏/非俘虏抛光工艺选项,并采用了可控制颗粒沉积的旋转式备份垫装置。对SPEEDFAM 18B-5LNS资产的质量和性能进行了彻底评估,以确保其完全能够始终满足客户要求。该型号现已提供一系列标准和定制的预配置选项,如多个磨轮、专用洗涤器、自动化控制器和视频检查系统。18B-5LNS设备是半导体工业不可或缺的工具，能够提高工艺稳定性和最小生产周期。