二手 SPEEDFAM 18BTAW #9181212 待售
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SPEEDFAM 18BTAW晶片研磨、研磨和抛光设备是一种用于硅片研磨、研磨和抛光的高性能机器。该系统专为单面同步处理而设计,为用户提供了生产质量最高的均匀无缺陷晶片所需的灵活性。它具有全自动、自动调节的晶片传输单元和大型托盘,并且能够一次处理多达15个晶片。SPEEDFAM 18 BTAW配备了刚性主轴结构,在广泛的材料和基材类型上提供了卓越的精度、重复性和性能。晶圆研磨站包括两个抛光板托架,每个托架有6个段,允许处理不同的晶圆尺寸。载荷单元控制特性在板上保持均匀载荷,并实时测量机械受力,确保磨削结果一致。18B-TAW研磨站采用无刷直流电机,无刷夹紧,可实现高精度运动,达到0.1microns或更高的平坦度。此外,这台机器还有一个低压抛光站,具有可编程的旋转运动,用于以不同角度抛光晶圆。SPEEDFAM 18B-TAW晶圆研磨、研磨抛光工具配有集成的电气控制面板,并与先进的半导体晶圆处理算法集成。前面显示面板上的图形用户界面可以方便地编程和控制机器。此外,它还有一个用于监控和诊断的触摸屏,以及多种安全功能,如自动紧急停止。总体而言,18 BTAW晶片研磨、研磨和抛光资产是高容量晶片加工的理想解决方桉,因为它提供了卓越的精度和效率。这种模式非常适合研发实验室、生产线甚至大学,因为它易于操作并提供优异的性能。
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